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* 0.1um 입자의 99.9995% 이상의 포집효율 |
* Clean Room Class 10 이하에 적용 |
* 내산성,내식성을 향상한 Frame 구조 |
* 반도체등 정밀 산업에 적용 |
* ULPA 필터의 표준형 |
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MODEL
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풍 량
(CMM)
|
규 격 (mm)
(H×W×D)
|
압 력 손 실(mmAq)
|
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초 기
|
말 기
|
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U-17
|
17
|
610×610×150
|
25.4
|
50.8
|
U-22
|
22
|
610×762×150
|
||
U-26
|
26
|
610×915×150
|
||
U-28
|
28
|
610×610×292
|
||
U-34
|
34
|
610×1220×150
|